การเตรียมและศึกษาคุณลักษณะเฉพาะของฟิล์มบาง อะลูมิเนียมไนไตรด์/ซิลเวอร์/อะลูมิเนียมไนไตรด์สำหรับประยุกต์เป็นกระจกที่มีการแผ่รังสีความร้อนต่ำโดยวิธีการสปัตเตอริง เจ้าของผลงาน : ผศ.ดร. วุฒิชัย แพงาม คำสำคัญ : ฟิล์มบางอลูมิเนียมไนไตรด์/ซิลเวอร์/อลูมิเนียมไนไตรด์, กระจกที่มีคุณสมบัติสะท้อนความร้อนต่ำ สปัตเตอริง วันที่เผยแพร่ : 17 กันยายน 2563