| ชื่อโครงการวิจัย/ชื่อเรื่อง | การใช้ออกซิเจนพลาสมาในการปรับโครงสร้างและสมบัติทางกายภาพของฟิล์มบางอะลูมิเนียมออกไซด์ที่ผลิตด้วยวิธีรีแอกทีฟสปัตเตอริง |
|---|---|
| ชื่อโครงการวิจัย/ชื่อเรื่อง ภาษาอังกฤษ | Oxygen – plasma treatment in induced modifications of structure and physical properties of aluminum oxide thin film produced by reactive sputtering method. |
| ชื่อนักวิจัย/ชื่อผู้แต่ง | ฉัตรปวีณ์ หอมอ่อน |
| ชื่อนักวิจัย/ชื่อผู้แต่ง ภาษาอังกฤษ | Chatpawee Hom-on |
| คำสำคัญ | ฟิล์มบางอะลูมิเนียมออกไซด์ที่ผลิตด้วยเทคนิครีแอกทีฟสปัตเตอริง, ออกซิเจนพลาสมา, รีแอกทีฟสปัตเตอริง, ฟิล์มบางอะลูมิเนียมออกไซด์, การเปลี่ยนโครงสร้างของฟิล์มบางโดยใช้อุณหภูมิต่ำ |
| หน่วยงาน | คณะวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยขอนแก่น |
| ปีที่เผยแพร่ | 2564 |
| คำอธิบาย | การปรับปรุงโครงสร้างของฟิล์มบางอะลูมิเนียมออกไซด์โดยการทำ O2 plasma โดยใช้ความดัน 5x10-1, 5x10-2 และ 5x10-3มิลลิบาร์ และใช้กำลังไฟฟ้าระหว่าง 50 –200 วัตถ์ พบว่าฟิล์มบางอะลูมิเนียมออกไซด์ที่ผ่านการทำออกซิเจนพลาสม่าด้วยกำลังไฟฟ้าตั้งแต่ 50 วัตถ์ขึ้นไป และใช้ความดันตั้งแต่ 5x10-1 มิลลิบาร์เป็นต้นไป มีการจัดเรียงตัวในรูปแบบผลึก ที่เป็นเฟส α-Al2O3 โดยแสดงระนาบการเลี้ยวเบนที่ (113) แต่ความเป็นผลึกนั้นจะมีอยู่แค่ที่บริเวณผิวฟิล์มด้านบนของฟิล์ม ซึ่งลึกลงไปจากผิวฟิล์มประมาณ 131.5 นาโนเมตร |
| กลุ่มการนำไปใช้ประโยชน์ | ด้านวิชาการ |
| สาขาการวิจัย |
|
