| ชื่อโครงการวิจัย/ชื่อเรื่อง |
การพัฒนาระบบสปัตเตอริงเป้าคู่สำหรับเคลือบฟิล์มบางนาโนของไทเทเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์เพื่อประยุกต์สู่อุตสาหกรรม |
| ชื่อนักวิจัย/ชื่อผู้แต่ง |
ผศ. วุฒิชัย แพงาม |
| เจ้าของผลงานร่วม |
รศ. สุรสิงห์ ไชยคุณ ,
อ. ภัทริณี คลุมดวง ,
อ. เจษฎา ประทุมสิทธิ์ |
| คำสำคัญ |
สปัตเตอริงเป้าคู่;ฟิล์มบางไทเทเนียมไนไตรด์;ฟิล์มบางไทเทเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์;Co sputtering;Titanium nitride thin film;Titanium aluminium nitride thin film |
| หน่วยงาน |
มหาวิทยาลัยราชภัฏพระนคร |
| ปีที่เผยแพร่ |
2562 |
| คำอธิบาย |
ระบบสปัตเตอริงเป้าคู่สำหรับเคลือบฟิล์มบางนาโนของไทเทเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์ที่ได้พัฒนาขึ้นโดยใช้เทคโนโลยีในประเทศทำให้สามารถลดต้นทุนในการสร้างระบบนี้จาก 8.5 ล้านบาท ลงเหลือ 2.7 ล้านบาท ซึ่งระบบนี้มีศักยภาพในการเคลือบฟิล์มให้มีสมบัติตามที่ต้องการได้โดยใช้การควบคุมตัวแปรต่าง ๆ ระหว่างกระบวนการเคลือบ และยังสามารถพัฒนาระบบให้มีศักยภาพสูงขึ้นได้อีกในอนาคต อันเป็นประโยชน์ต่อหลายภาคส่วน เช่น การศึกษา การวิจัยและพัฒนานวัตกรรม ภาคอุตสาหกรรม เป็นต้น และยังส่งผลต่อการพัฒนาประเทศชาติอย่างต่อเนื่องและยังยืน |
| สาขาการวิจัย |
-
|
