การใช้ออกซิเจนพลาสมาในการปรับโครงสร้างและสมบัติทางกายภาพของฟิล์มบางอะลูมิเนียมออกไซด์ที่ผลิตด้วยวิธีรีแอกทีฟสปัตเตอริง เจ้าของผลงาน : ฉัตรปวีณ์ หอมอ่อน คำสำคัญ : ฟิล์มบางอะลูมิเนียมออกไซด์ที่ผลิตด้วยเทคนิครีแอกทีฟสปัตเตอริง, ออกซิเจนพลาสมา, รีแอกทีฟสปัตเตอริง, ฟิล์มบางอะลูมิเนียมออกไซด์, การเปลี่ยนโครงสร้างของฟิล์มบางโดยใช้อุณหภูมิต่ำ วันที่เผยแพร่ : 8 พฤศจิกายน 2564
